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信觉俗
作品数:
3
被引量:16
H指数:3
供职机构:
东北大学
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发文基金:
辽宁省自然科学基金
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相关领域:
化学工程
电子电信
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合作作者
单五桥
东北大学
孙旭
沈阳真空技术研究所
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机构
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文献类型
3篇
中文期刊文章
领域
2篇
化学工程
1篇
电子电信
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镀膜
2篇
溅射
2篇
磁控
2篇
磁控溅射
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导体
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镀铬
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塑料
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陶瓷
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陶瓷涂层
1篇
涂层
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离子
1篇
离子镀
1篇
离子对
1篇
附着性
1篇
半导体
1篇
半导体薄膜
1篇
TIO
1篇
ABS
1篇
ABS塑料
1篇
沉积速率
机构
3篇
东北大学
1篇
沈阳真空技术...
作者
3篇
信觉俗
1篇
孙旭
1篇
单五桥
传媒
2篇
表面技术
1篇
真空
年份
1篇
1999
1篇
1994
1篇
1990
共
3
条 记 录,以下是 1-3
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相关度排序
被引量排序
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离子对PVD法陶瓷涂层附着性的作用
被引量:5
1994年
介绍采用增加离化率、离子注入、离子照射作为辅助手段,改变界面组成与结构,以提高PVD法制备的陶瓷涂层(薄膜)附着性,并阐明了改善涂层附着性的机理。
信觉俗
关键词:
陶瓷
涂层
附着性
离子镀
镀膜
间断充氧提高TiO_2膜沉积速率的研究
被引量:7
1999年
用直流反应磁控溅射法,进行了连续充氧和不同周期间断充氧方式在玻璃基片上沉积TuO_2膜的实验。用得到的最佳间断充氧条件,TiO_2膜沉积速率是连续充氧条件的1.8倍。TiO_2膜组分、深度分布及理化性能与连续充氧无明显区别。
信觉俗
单五桥
关键词:
磁控溅射
沉积速率
镀膜
半导体薄膜
ABS塑料溅射镀铬
被引量:4
1990年
在ABS塑料上溅射沉积铬或铬合金膜,是汽车外部装饰部件光亮处理技术。本 文简单介绍这一技术的发展情况。结合作过的一部分工作谈了工艺参数对铬膜性能的影 响。最后指出一些当前存在的技术问题。
信觉俗
孙旭
关键词:
磁控溅射
ABS
镀铬
塑料
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