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王志权

作品数:10 被引量:0H指数:0
供职机构:杭州电子科技大学更多>>
相关领域:一般工业技术电气工程电子电信化学工程更多>>

文献类型

  • 9篇中文专利

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇电气工程

主题

  • 6篇纳米
  • 5篇可控硅
  • 4篇纳米线
  • 4篇硅纳米线
  • 3篇电磁
  • 3篇电极
  • 3篇上口
  • 3篇石墨
  • 3篇石墨电极
  • 3篇漆包线
  • 3篇衔铁
  • 2篇电磁耦合
  • 2篇镀银
  • 2篇片架
  • 2篇器皿
  • 2篇晶向
  • 2篇刻蚀
  • 2篇光电
  • 2篇光电子
  • 2篇硅表面

机构

  • 9篇杭州电子科技...

作者

  • 9篇王志权
  • 7篇巢炎
  • 4篇吴立群
  • 4篇席俊华

年份

  • 1篇2023
  • 3篇2019
  • 5篇2017
10 条 记 录,以下是 1-9
排序方式:
控制硅纳米线走向的装置
本发明公开了一种控制硅纳米线走向的装置,包括反应釜体、可调电源、控制单元、盛放蚀刻溶液器皿和泵,反应釜体的中部设有硅片架,反应釜体由硅片架及硅片平分为左右两个腔室,盛放蚀刻溶液器皿通过管道分别连接至两个腔室,泵设于管道的...
巢炎刘先欢王志权姚安琦吴立群席俊华
文献传递
制造可控走向的硅纳米线的方法
本发明公开了一种制造可控走向的硅纳米线的方法,包括如下步骤:(一)对硅片进行清洗;(二)对硅片进行表面处理,在硅片表面镀一层贵金属涂层;(三)在电场方向可调的反应釜内采用刻蚀溶液对镀银后的硅片进行刻蚀;(四)去除硅片表面...
巢炎王志权刘先欢姚安琦吴立群席俊华
文献传递
制备可控硅表面纳米结构的电磁耦合装置
本实用新型属于硅表面加工技术领域,具体涉及一种制备可控硅表面纳米结构的电磁耦合装置。本实用新型电磁耦合装置包括:反应釜、电源;反应釜包括筒状的衔铁,衔铁的上口、下口分别由顶盖、底盖封住,衔铁的内壁安装有对称的两石墨电极,...
巢炎刘先欢姚安琦王志权
文献传递
一种在电磁耦合场作用下制备硅纳米结构的方法
本发明属于硅表面加工技术领域,具体涉及一种硅表面纳米结构的可控性加工方法,其包括如下步骤:步骤一,对硅片进行贵金属涂;步骤二,制备硅纳米结构:一反应釜中盛入蚀刻溶液,反应釜设置电场发生装置以及磁场发生装置;步骤一的硅片置...
巣炎 刘先欢 姚安琦王志权
文献传递
一种制备可控硅表面纳米结构的电磁耦合装置
本发明属于硅表面加工技术领域,具体涉及一种制备可控硅表面纳米结构的电磁耦合装置。本发明电磁耦合装置包括:反应釜、电源;反应釜包括筒状的衔铁,衔铁的上口、下口分别由顶盖、底盖封住,衔铁的内壁安装有对称的两石墨电极,两侧石墨...
巢炎刘先欢姚安琦王志权
文献传递
控制硅纳米线走向的装置
本发明公开了一种控制硅纳米线走向的装置,包括反应釜体、可调电源、控制单元、盛放蚀刻溶液器皿和泵,反应釜体的中部设有硅片架,反应釜体由硅片架及硅片平分为左右两个腔室,盛放蚀刻溶液器皿通过管道分别连接至两个腔室,泵设于管道的...
巢炎刘先欢王志权姚安琦吴立群席俊华
制造可控走向的硅纳米线的方法
本发明公开了一种制造可控走向的硅纳米线的方法,包括如下步骤:(一)对硅片进行清洗;(二)对硅片进行表面处理,在硅片表面镀一层贵金属涂层;(三)在电场方向可调的反应釜内采用刻蚀溶液对镀银后的硅片进行刻蚀;(四)去除硅片表面...
巢炎王志权刘先欢姚安琦吴立群席俊华
文献传递
一种在电磁耦合场作用下制备硅纳米结构的方法
本发明属于硅表面加工技术领域,具体涉及一种硅表面纳米结构的可控性加工方法,其包括如下步骤:步骤一,对硅片进行贵金属涂;步骤二,制备硅纳米结构:一反应釜中盛入蚀刻溶液,反应釜设置电场发生装置以及磁场发生装置;步骤一的硅片置...
巣炎 刘先欢 姚安琦王志权
一种制备可控硅表面纳米结构的电磁耦合装置
本发明属于硅表面加工技术领域,具体涉及一种制备可控硅表面纳米结构的电磁耦合装置。本发明电磁耦合装置包括:反应釜、电源;反应釜包括筒状的衔铁,衔铁的上口、下口分别由顶盖、底盖封住,衔铁的内壁安装有对称的两石墨电极,两侧石墨...
巢炎刘先欢姚安琦王志权
共1页<1>
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