您的位置： 专家智库 > >

于洪峰

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第四十九研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇声传感器
  • 1篇微机电系统
  • 1篇灵敏度
  • 1篇敏度
  • 1篇机电系统
  • 1篇光学
  • 1篇光学检测
  • 1篇光学式
  • 1篇感器
  • 1篇传感
  • 1篇传感器
  • 1篇电系统

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇曹永海
  • 1篇史鑫
  • 1篇王伟
  • 1篇王世宁
  • 1篇于洪峰

传媒

  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
一种基于感声波纹结构的光学式声传感器被引量：3
2014年
设计了一种基于硅MEMS敏感结构的光学式声传感器,其光学调制原理采用强度调制型,微敏感结构采用具有低应力波纹结构的感声薄膜芯片。对光纤与微敏感结构耦合技术进行实验研究,优化光学参数,并制作传感器样品。经实验测试,灵敏度达80mV/Pa。
于洪峰王伟王世宁史鑫曹永海桂永雷
关键词：微机电系统光学检测声传感器灵敏度
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0