您的位置： 专家智库 > >

张珊珊

作品数：13 被引量：0H指数：0
供职机构：上海交通大学更多>>
相关领域：化学工程一般工业技术自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 12篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇化学工程
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 9篇接枝
  • 9篇化学接枝
  • 6篇半导体
  • 4篇一步法
  • 4篇恶臭
  • 4篇恶臭气体
  • 4篇臭气
  • 3篇镀液
  • 3篇有机膜
  • 3篇化学镀
  • 3篇化学镀液
  • 3篇触发器
  • 2篇导体
  • 2篇调理电路
  • 2篇度条件
  • 2篇多孔
  • 2篇多孔材料
  • 2篇旋涂
  • 2篇以太网
  • 2篇以太网口

机构

  • 13篇上海交通大学

作者

  • 13篇张珊珊
  • 8篇李明
  • 8篇张俊红
  • 4篇朱弘恣
  • 4篇楼紫阳
  • 4篇王辉

年份

  • 2篇2025
  • 2篇2022
  • 1篇2020
  • 1篇2019
  • 2篇2018
  • 5篇2016
共 13 条 记 录，以下是 1-10
全选 清除 导出
排序方式：
在导体或半导体微孔中填充有机聚合物的方法
本发明涉及一种在导体或半导体微孔中填充有机聚合物的方法，包括以下步骤：将带有微孔的导体或半导体基材经过表面预处理后，放入配置好的水相溶液中进行化学接枝，最终实现在微孔中自底向上的填充有机聚合物。本发明的特点在于：在小的微...
高兰雅李明张珊珊张俊红
文献传递
在半导体基材表面一步法化学接枝有机膜的方法
本发明提供了一种在半导体基材表面一步法化学接枝有机膜的方法，其包括如下步骤：制备化学镀液；将半导体基材置于所述化学镀液中，在0～30℃下进行静置，完成有机膜在半导体基材表面的接枝。与现有技术相比，本发明具有如下的有益效果...
张珊珊李明高兰雅张俊红
文献传递
水相化学接枝含氟有机膜及其性能研究
随着电子产业的不断发展,工业生产对电子封装密度和集成度提出了更高的要求,从而使电子封装技术面临新的挑战。近年来,三维硅通孔技术不断创新,为芯片的封装提出了一种新的思路。其中,超薄高保形绝缘层的制备是实现三维TSV垂直互联...
张珊珊
关键词：化学接枝绝缘层水相
文献传递
半导体垂直铜互连中填充有机聚合物的TSV结构及成型方法
本发明提供了一种半导体垂直铜互连中填充有机聚合物的TSV结构，包括半导体基材，所述半导体基材上设有若干盲孔或通孔，所述盲孔或通孔内部分填充有镀铜层，所述镀铜层上化学接枝有有机聚合物，在实现了铜和有机聚合物填充的基材表面设...
高兰雅李明张珊珊张俊红
文献传递
硅通孔中一步法化学接枝有机绝缘膜的方法
本发明提供了一种硅通孔中一步法化学接枝有机绝缘膜的方法，包括以下步骤：将带有硅通孔的硅片进行预处理后，置于电解质溶液中进行化学镀，即可；所述电解质溶液包括以下浓度的各组分：所述表面活性剂的浓度为不超过20g/L，所述有机...
张珊珊李明高兰雅张俊红
文献传递
智能控制技术的恶臭预处理系统及方法
本发明提供了一种智能控制技术的恶臭预处理系统及方法，包括：场景触发器、恶臭气体前端处理仪、控制中枢以及恶臭检测设备；所述恶臭气体前端处理仪包括：稀释模块以及富集模块；所述场景触发器通过三通电磁阀分别连接所述稀释模块和所述...
楼紫阳张珊珊 成兆文朱弘恣王辉 舒迪
在导体或半导体微孔中填充有机聚合物的方法
本发明涉及一种在导体或半导体微孔中填充有机聚合物的方法，包括以下步骤：将带有微孔的导体或半导体基材经过表面预处理后，放入配置好的水相溶液中进行化学接枝，最终实现在微孔中自底向上的填充有机聚合物。本发明的特点在于：在小的微...
高兰雅李明张珊珊张俊红
半导体垂直铜互连中填充有机聚合物的TSV结构的制备方法
本发明涉及一种半导体垂直铜互连中填充有机聚合物的TSV结构的制备方法，包括以下步骤：将半导体基材在确定位置打孔，之后在带有导通孔的半导体基材上制备绝缘层、阻挡层和种子层并进行未完全填满的镀铜填充，然后经过表面预处理后放入...
高兰雅李明张珊珊张俊红
文献传递
生活垃圾恶臭在线监测系统和方法
本发明提供了一种生活垃圾恶臭在线监测系统和方法，包括：恶臭气体预处理模块、传感模块、气路输送模块、通信模块与工控模块；所述传感模块包括气室、传感器阵列、调理电路；所述气路输送模块包括电磁阀、流量计、气泵；所述通信模块包括...
楼紫阳张珊珊成兆文朱弘恣王辉
硅通孔中一步法化学接枝有机绝缘膜的方法
本发明提供了一种硅通孔中一步法化学接枝有机绝缘膜的方法，包括以下步骤：将带有硅通孔的硅片进行预处理后，置于电解质溶液中进行化学镀，即可；所述电解质溶液包括以下浓度的各组分：所述表面活性剂的浓度为不超过20g/L，所述有机...
张珊珊李明高兰雅张俊红
文献传递
全选 清除 导出
共2页<12>
聚类工具0