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基于栅结构谐振器的x和y轴加速度及z轴角速度的组合测量（英文）: 2013年; 本文利用一由两个相互垂直的加速度计组成的栅结构谐振器来同时测量x轴和y轴的加速度以及z轴的输入角速度.此谐振器利用变面积电容进行检测,具有良好的线性度及快速的信号响应.此谐振器的x轴及y轴的加速度计的谐振频率分别为1.931 5 kHz和1.840 3 kHz.在初始状态下,x轴的加速度计被驱动进入谐振状态,且y轴的加速度随着x轴的加速度计一起振动.当z轴存在角速度输入时,y轴的加速度计会相应地沿y轴进行振动,而x轴及y轴的加速度会改变相应轴上加速度计的平衡位置.测试结果表明,此器件的z轴角速度灵敏度为16 mV/((°)·s^(-1)),x和y轴的加速度灵敏度分别为49 mV/g和244 mV/g.z轴角速度输出的噪声等效角速度为0.013 8°/(?·(?)和y轴加速度输出的噪声等效加速度为0.42×10^(-3)g/(Hz)^(1/2)和0.074×10^(-3)g/(Hz)^(1/2).; 胡世昌朱辉杰马铭骏刘义冬金仲和; 关键词：栅结构加速度计陀螺

一种闭环微机械加速度计反馈方法: 本发明公开了一种闭环微机械加速度计反馈方法。本发明采用闭环微机械加速度计反馈装置，产生反馈信号和参考信号，两种信号都被调制到载波上，反馈信号和参考信号同相相加后通过高通滤波器生成左反馈差分电极电压或右反馈差分电极电压，反...; 马铭骏金仲和朱辉杰刘义东; 文献传递

一种闭环微机械加速度计反馈方法: 本发明公开了一种闭环微机械加速度计反馈方法。本发明采用闭环微机械加速度计反馈装置，产生反馈信号和参考信号，两种信号都被调制到载波上，反馈信号和参考信号同相相加后通过高通滤波器生成左反馈差分电极电压或右反馈差分电极电压，反...; 马铭骏金仲和朱辉杰刘义东; 文献传递

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马铭骏