张慧君
- 作品数：1 被引量：0H指数：0
- 供职机构：中航工业北京长城计量测试技术研究所更多>>
- 相关领域：一般工业技术自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 提高膜片式F-P腔光纤压力传感器灵敏度的试验研究
- 2014年
- 膜片式F-P腔光纤压力传感器是基于法布里-珀罗干涉原理,采用微电子机械系统（ MEMS）技术加工而成。在实际应用中,不同的测试环境对传感器灵敏度的要求各不相同,如果针对不同灵敏度,分别采用MEMS工艺批量化生产,则会造成生产成本过高,经济化效益降低。本文利用湿法腐蚀的方法对传感器进行膜片减薄试验,在一定范围内提高了传感器的压力灵敏度,从而满足了不同的测试需求。膜片减薄后,传感器的灵敏度可达34.2 nm/kPa,压力标定曲线的线性度为0.9997,传感器的非线性误差为0.05%,能够实现0-120 kPa （绝压）范围内压力的准确测量。
- 张慧君张立喆段玉培陈喜
- 关键词：湿法腐蚀压力灵敏度光纤压力传感器
