孙惠娜
- 作品数:4 被引量:12H指数:2
- 供职机构:兰州大学核科学与技术学院更多>>
- 发文基金:甘肃省科技攻关计划教育部科学技术研究重点项目甘肃省自然科学基金更多>>
- 相关领域:理学一般工业技术更多>>
- 溶胶-凝胶法制备ZnO:Sn(TZO)薄膜被引量:8
- 2010年
- 以普通玻璃为衬底,采用溶胶-凝胶旋涂法制备出c轴择优取向性、高可见光透过率以及低电阻率的ZnO:Sn(TZO)薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、四探针及紫外-可见分光光度计(UV-VIS)等手段,研究了不同Sn掺杂浓度对薄膜的晶体结构、表面形貌、电学和光学特性的影响。实验结果表明,在500℃的空气中热处理,然后在低温环境快速冷却,得到的TZO薄膜均具有六角纤锌矿结构,且呈c轴择优取向,薄膜在可见光范围内平均透光率超过90%,同时当Sn掺杂浓度为3 at.%时,薄膜的电阻率达到最小值8.2×10-1Ω.cm。
- 孙惠娜刘静高美珍
- 关键词:溶胶-凝胶法光电特性
- 溶胶—凝胶法制备ZnO:Sn/(TZO/)透明导电薄膜及其性能研究
- 透明导电氧化物薄膜由于具有良好的电学性质和光学性质已被广泛应用于透明电极、液晶显示器、太阳能电池、防静电涂层以及各种光电设备中。目前,透明导电氧化物薄膜主要包括SnO2、In2O3、ZnO及其氧化物的掺杂体系。现在应用最...
- 孙惠娜
- 关键词:晶体结构表面形貌光电性能
- 文献传递
- 热处理时间对溶胶-凝胶法制备ITO薄膜结构、形貌和性质的影响被引量:2
- 2009年
- 以InCl3.4H2O、SnCl4.5H2O、乙酰丙酮为原料,采用溶胶-凝胶旋涂工艺在普通玻璃基底上制备了ITO薄膜,每次旋涂之后,将样品放在260℃的烘箱中干燥15min,然后进行第二次旋涂,最后在300℃对样品进行热处理。随着退火时间的延长,XRD衍射结果表明,薄膜的结构由退火前的InOCl的简单斜方结构转变为ITO的立方铁锰矿结构。当热处理时间为22h时,薄膜的方块电阻达到最小值1500Ω/□,电阻率为6×10-2Ω.cm,而可见光范围透过率达到最大值83%。
- 高美珍辛科张锋孙惠娜
- 关键词:铟锡氧化物溶胶-凝胶
- 热处理温度及冷却速度对ZnO:Al薄膜性能的影响被引量:1
- 2009年
- 采用溶胶-凝胶法在普通玻璃衬底上制备出了Al^(3+)离子掺杂的ZnO(ZnO:Al)透明导电薄膜.利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、四探针法及紫外-可见分光光度计(UV-VIS)等分析方法对制备的薄膜进行了表征,研究了热处理温度及冷却速度对ZnO:Al薄膜结晶状况、电阻率、可见光透过率的影响.研究发现:制备的薄膜为具有沿(002)品面择优取向的ZnO六角纤锌矿结构,适当的热处理温度和冷却速度有利于改善ZnO:Al薄膜的导电性,并且当采用快速冷却时薄膜的导电性明显增强,而透光率略微减小.500℃热处理1 h后,-15℃环境中快速冷却相对于随炉冷却和空气中冷却制备的薄膜电阻率有大幅度的降低,达到0.22Ω·cm,透光率大于80%.
- 张锋孙惠娜刘静高美珍
- 关键词:ZNO:AL溶胶-凝胶