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汪红波

作品数：19 被引量：0H指数：0
供职机构：西南交通大学更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 17篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇机械工程

主题

  • 8篇纳米
  • 8篇刻蚀
  • 8篇传感
  • 7篇感器
  • 7篇传感器
  • 5篇单晶
  • 5篇选择性刻蚀
  • 4篇单晶硅
  • 4篇氢气
  • 4篇微悬臂
  • 4篇结构层
  • 4篇金属
  • 4篇光敏材料
  • 4篇光电式
  • 3篇压痕
  • 3篇氢气传感器
  • 2篇针尖
  • 2篇速度传感器
  • 2篇批量化
  • 2篇气敏

机构

  • 19篇西南交通大学

作者

  • 19篇汪红波
  • 18篇钱林茂
  • 17篇余丙军
  • 7篇陈磊
  • 7篇蒋淑兰
  • 4篇李斌
  • 3篇江亮
  • 2篇肖晨
  • 1篇吴磊
  • 1篇彭勇

传媒

  • 1篇机械工程学报

年份

  • 4篇2025
  • 4篇2024
  • 1篇2020
  • 4篇2019
  • 2篇2018
  • 2篇2017
  • 2篇2016
共 19 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
基于微悬臂投影的光电式加速度传感器
一种基于微悬臂投影的光电式加速度传感器，包括不透明的矩形壳体(9)、封装在矩形壳体(9)底部的芯片和矩形壳体(9)侧壁上部固定的光源(8)；其中，所述的芯片依次由基底(1)、下绝缘材料层(2)、光敏材料层(3)、微悬臂结...
钱林茂汪红波蒋淑兰李斌余丙军陈磊
文献传递
双层悬空三维纳米结构制备方法及双层悬空三维纳米结构
本发明提供了三维双层悬空纳米结构制备方法，操作简单，绿色环保，成本低，吞吐量高，采用等离子体辅助纳米转移印刷技术，可实现双层悬空纳米结构的一次性制备，且无需额外的粘附层。本发明还提供了三维双层悬空纳米结构，其具有独特的三...
赵志俊徐先武汪红波余丙军钱林茂
基于微悬臂投影的光电式气敏传感器
一种基于微悬臂投影的光电式气敏传感器，包括不透明的矩形壳体(9)、封装在矩形壳体(9)底部的芯片和矩形壳体(9)侧壁上部固定的光源(8)；其中，所述的芯片依次由基底(1)、下绝缘材料层(2)、光敏材料层(3)、微悬臂结构...
钱林茂汪红波蒋淑兰李斌余丙军陈磊
一种双层悬空三维纳米结构的纳米材料及电子部件
本实用新型双层悬空三维纳米结构的纳米材料及电子部件，其具有独特的双层悬空纳米结构，既具备双层结构的特点又具备悬空结构的特点，具有高比表面积，丰富了三维纳米材料的性能多样化，在科学研究与工业应用如光电子器件、传感器等领域中...
赵志俊徐先武汪红波余丙军钱林茂
基于空心硅纳米线结构氢气传感器制备方法及氢气传感器
本发明基于空心硅纳米线结构氢气传感器制备方法，操作简单，成本低，选用双层悬空纳米结构纳米材料，先采用蚀刻溶液形成单层纳米结构纳米材料，再采用金属辅助化学蚀刻工艺，形成空心纳米线结构，从而进一步制备具有高比表面积的基于空心...
赵志俊徐先武汪红波余丙军钱林茂
基于压痕诱导选择性刻蚀的单晶硅表面针尖的加工方法
本发明公开了一种基于压痕诱导选择性刻蚀的单晶硅表面针尖的加工方法，包括以下步骤：S1、将单晶硅(100)表面清洗干净，对单晶硅(100)表面进行氧化层去除处理；S2、利用Berkovich探针在单晶硅(100)表面做压痕...
余丙军金晨宁钱林茂刘潇枭肖晨汪红波
文献传递
基于微悬臂投影的光电式加速度传感器
一种基于微悬臂投影的光电式加速度传感器，包括不透明的矩形壳体(9)、封装在矩形壳体(9)底部的芯片和矩形壳体(9)侧壁上部固定的光源(8)；其中，所述的芯片依次由基底(1)、下绝缘材料层(2)、光敏材料层(3)、微悬臂结...
钱林茂汪红波蒋淑兰李斌余丙军陈磊
基于光化学辅助选择性刻蚀的砷化镓表面纳米加工方法
本发明公开了一种基于光化学辅助选择性刻蚀的砷化镓表面纳米加工方法，包括以下步骤：S1、采用机械刻划或压痕设备在洁净的砷化镓表面进行划痕或压痕加工；S2、采用混合刻蚀剂对砷化镓表面进行紫外光化学辅助刻蚀，刻蚀完成后对砷化镓...
余丙军吴磊范志涛彭勇汪红波钱林茂
文献传递
一种基于紫外臭氧的单晶硅表面纳米加工方法
本发明公开了一种基于紫外臭氧的单晶硅表面纳米加工方法，该方法不但可以简单快速的在单晶硅样品形成一层致密且均匀的硅氧化物(SiO<Sub>X</Sub>)薄层，而且可以获得具有大量羟基(‑OH)的超亲水表面。结合扫描探针设...
钱林茂汪红波蒋淑兰余丙军陈磊江亮
文献传递
双层悬空三维纳米结构制备方法及双层悬空三维纳米结构
本发明提供了三维双层悬空纳米结构制备方法，操作简单，绿色环保，成本低，吞吐量高，采用等离子体辅助纳米转移印刷技术，可实现双层悬空纳米结构的一次性制备，且无需额外的粘附层。本发明还提供了三维双层悬空纳米结构，其具有独特的三...
赵志俊 徐先武汪红波余丙军钱林茂
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