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桑飞
作品数:
2
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供职机构:
北京大学
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合作作者
陶明
北京大学
郝一龙
北京大学
王茂俊
北京大学
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作者
2篇
桑飞
1篇
王茂俊
1篇
郝一龙
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陶明
年份
1篇
2016
1篇
2015
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2
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基于栅刻蚀的高性能增强型GaN MOSHEMT
型工作的实现仍然是氮化镓电力电子器件制备的难点,常规栅刻蚀工艺在沟道区域引入的损伤使得载流子的迁移率急剧降低,严重影响器件的导通电阻1,2.通过材料结构设计和器件工艺的配合,在硅基GaN异质结结构上实现了一种自停止、无损...
王茂傻
林书勋
桑飞
陶明
文正
郝一龙
沈波
程凯
关键词:
高电子迁移率晶体管
氮化镓
一种提高增强型GaN MOS沟道迁移率的器件结构及实现方法
一种提高增强型GaN MOS沟道迁移率的器件结构及实现方法,本发明属于微电子技术领域,涉及GaN基电力电子器件制作。所述结构包括衬底、GaN或AlN缓冲层、InGaN层、GaN层、AlGaN层、掩膜介质层,绝缘栅介质层和...
王茂俊
桑飞
陶明
郝一龙
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