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殷浩

作品数：2 被引量：7H指数：1
供职机构：天津津航技术物理研究所更多>>
相关领域：电子电信理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 2篇膜厚
  • 2篇膜厚监控
  • 2篇宽光谱
  • 2篇光谱
  • 2篇光学
  • 2篇光学薄膜

机构

  • 2篇天津津航技术...
  • 1篇湖州师范学院

作者

  • 2篇殷浩
  • 1篇应雄纯
  • 1篇宗杰

传媒

  • 1篇红外与激光工...
  • 1篇2007年国...

年份

  • 1篇2008
  • 1篇2007
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
光学膜厚监控方法被引量：7
2008年
光学膜厚监控方法是光学镀膜过程中用以控制光学薄膜光学厚度的主要方法,也是实现镀膜自动化的关键技术之一。了解光学膜厚监控方法的工作原理、特点及误差来源,有助于在实际应用中根据所镀产品的要求选择合适的光学监控方法及监控参数。文中针对最常用的两种光学膜厚监控方法—单波长法和宽光谱法,分别介绍其工作原理,给出了单波长下根据薄膜的透射率或反射率推算膜层厚度的计算方法以及宽光谱法所常用的3种评价函数,总结出影响单波长法测量的8种因素和宽光谱法的11种因素,并根据这些因素分析了这两种方法的特点和适用范围。
殷浩应雄纯宗杰
关键词：膜厚监控光学薄膜
光学膜厚监控方法
针对目前光学镀膜过程中最常用的两种光学膜厚监控方法--单波长法和宽光谱法,分别介绍其工作原理,对现行用作自动膜厚控制的数据处理方法和影响因素进行了分析,并介绍了这两种方法的特点及适用范围.
殷浩
关键词：光学薄膜膜厚监控
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