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杨进城

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：厦门大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文专利

主题

  • 1篇振荡源
  • 1篇扫频
  • 1篇微波振荡源
  • 1篇膜厚
  • 1篇介质
  • 1篇介质薄膜
  • 1篇厚度测量
  • 1篇薄膜厚度
  • 1篇场效应

机构

  • 1篇厦门大学

作者

  • 1篇钟茂声
  • 1篇吕文选
  • 1篇李焯
  • 1篇杨进城

年份

  • 1篇1988
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
薄膜厚度测量装置
薄膜厚度测量装置。本实用新型属于微波测厚技术，是对微波腔体微扰法的改进，并应用于介质薄膜的厚度测量。它采用圆柱型TE。双腔单模作为传感器，被测薄膜位于沿纵向中央所开的横向隙缝中，采取温度自补偿措施和线性好的场效应压控振荡...
李焯杨进城钟茂声吕文选
文献传递
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共1页<1>
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