胡际璜 作品数:22 被引量:11 H指数:2 供职机构: 复旦大学 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 更多>> 相关领域: 电子电信 一般工业技术 理学 机械工程 更多>>
分子束外延生长SiGe合金中位错密度的研究 2003年 Schimmel腐蚀液腐蚀结合高倍光学显微镜观察发现 ,不同尺寸的掩膜窗内生长的 Si Ge外延层中的位错密度在整个外延层中从 Si Ge/Si界面到 Si Ge外延层表面由少到多 ,再由多到少明显地分成 3个区 .无掩膜窗限制的大面积区内的 Si Ge层则只呈现 2个区 .掩膜材料与掩膜窗尺寸不同 ,这 3个区的位错密度也不同 .掩膜形成过程中产生的应力对衬底晶格的影响 ,以及掩膜边界对衬底与外延层的影响是造成这种不同的根本原因 . 林俊 陈岳瑞 胡际璜 张翔九关键词:分子束外延生长 SIGE合金 应变弛豫 位错密度 掩膜 Co、Ti/Si_(1-x)Ge_x薄膜快速退火固相反应结构和组分研究 1994年 本文首次研究金属Co与分子束外延Si1-xGex单晶薄膜快速热退火(RTA)固相反应,并对比了CO、Ti与SiGe固相反应时不同的反应规律实验采用RBS、AES、XRD、SEM等分析和测试手段对样品的组分和结构等薄膜特性进行检测.实验发现,Co/Si0.8Ge0,2在650℃热退火后形成组分为Co(Si0,9Ge0.1)的立方晶系结构,薄膜具有强烈择优取向;900℃处理温度,有CoSi2形成,同时Ge明显地向表面分凝.TiN/Ti/Si0.8Ge0.2固相反应时,850℃处理可以形成Ti(Si1-yGey);三元结构,并以(004)晶面为择优取向。薄膜均匀平整,电阻率达到TISi2最低值范围,高温处理未发生组分分凝.从生成物的晶体结构和形成热差异上对实验结果进行了分析. 亓文杰 李炳宗 黄维宁 顾志光 张翔九 盛篪 胡际璜 吕宏强 卫星 沈孝良关键词:分子束外延 退火 固相反应 钴 Si_(1-x)Ce_x/Si量子阱发光材料制备及特性研究 被引量:5 1995年 在si(100)衬底上用分子束外延成功生长了Si_(1-x)Ge_x/si量子阱发光材料,发现在生长过程中背景杂质含量直接影响材料的发光特性,用光致发光(PL)和卢瑟福背散射(RBS)对样品质量进行标定。在PL测量中观察到合金量子阱带边激子分辨峰,并对发光峰能和峰宽作了讨论。 杨宇 卢学坤 黄大鸣 蒋最敏 杨敏 章怡 龚大卫 陈祥君 胡际璜 张翔九 赵国庆关键词:硅锗合金 发光材料 分子束外延 硅红外探测器 本发明是一种硅红外探测器,它为以硅片为衬底,用δ-掺杂方法制备其能带呈锯齿形调制的超晶格,选择适当的掺杂浓度和掺杂周期,以控制调制深度,使有效带隙调节到需要的数值附近,如0.1ev、0.3ev、0.8ev等,获得相应波长... 王迅 叶令 胡际璜文献传递 反光电子谱的自动化测量及数据处理 1990年 首次建成了国产反光电子谱仪的自动化数据采集及处理系统。整个测量装置由Apple Ⅱ微机、计数器、PIO 和A/D、D/A 卡等电路组成。 葛毓青 李喆深 胡际璜 戴道宣关键词:自动化测量 数据处理 Si(001)上MBE异质生长Ge中表面活化剂Sb的作用的研究 1997年 本文利用RHEED、X射线双晶衍射及TEM等技术,研究了在Si(001)衬底上,用晶化了的无定形Ge层做缓冲层MBE生长Ge时,引入表面活化剂Sb所产生的影响.研究表明,Sb的引入将会使Si(001)衬底上无定形Ge膜的晶化温度显著提高,并在一定的生长条件下,破坏Ge外延层的结晶性. 徐阿妹 朱海军 毛明春 蒋最敏 卢学坤 胡际璜 张翔九关键词:半导体 砷化镓 硅 一种新型结构的硅太阳能电池 本实用新型为一种新型结构的硅太阳能电池,由硅衬底、n型材料和金属电极引线构成,其中,n<Sup>+</Sup>区与p<Sup>+</Sup>区设计成梳状交叉的结构形式,使P区被n<Sup>+</Sup>区部分覆盖。此结构... 张翔九 胡际璜文献传递 一种红外探测器用的硅锗/硅异质结材料 本发明属于红外探测器技术领域,具体为一种红外探测器的SiGe/Si异质结材料,其中SiGe的组份为:Si<Sub>1-x</Sub>Ge<Sub>x</Sub>,0.45≤x≤0.55。该材料的工作波段为3-5μm,工作... 张翔九 胡际璜文献传递 总电流谱仪的研制 1989年 用经过改进的LEED装置和本校自制的WF-1型功函数测试仪研制成总电流谱仪。得到了Si(111)7×7再构表面的总电流谱,结果与有关文献报道相近。 王向东 周红 胡际璜 戴道宣关键词:LEED 功函数 抛光片 真空室 补偿电压 9μmp^+—GexSi1—x/p—Si异质结内光电红外探测器 被引量:1 1994年 用分子束外延方法生长了p+-GexSi1-x/p-Si异质结,并用平面工艺制成了内光电红外探测器,器件截止响应波长达9μm,在52K时,Rv500K=3.3×103V/W. 龚大卫 卢学坤 卫星 杨小平 胡际璜 盛篪 张翔九 王迅 周涛 叶红娟 沈学础关键词:异质结 锗硅合金 红外探测器