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梁康
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武汉大学
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理学
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刘胜
武汉大学
严芝芝
武汉大学
吴功平
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肖华
武汉大学
李瑞
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β-氧化镓/c-砷化硼异质结构及制备方法
本申请公开了β‑氧化镓/c‑砷化硼异质结构及制备方法。本技术方案中,通过分子束外延的方法(MBE)制备大尺寸、高质量的c‑BAs晶体,通过设计并引入不同结构和功能的缓冲层,实现β‑Ga<Sub>2</Sub>O<Sub>...
吴改
沈威
孙展鹏
梁康
何家梁
戚梓俊
一种集成原位测量的分子束外延薄膜生长系统
本发明公开了一种集成原位测量的分子束外延薄膜生长系统,属于半导体薄膜测量技术领域,所述生长系统包括,真空反应腔室,设置有安装口且底端部分或全部由透光材料构成,用于提供反应环境,安装口用于安装炉源;样品台,设置于真空反应腔...
刘胜
梁康
宋云飞
孙启盟
杨德坤
沈威
吴改
汪启军
张文泽
一种金属-金刚石肖特基功率器件及其过渡层设计方法
本发明公开了一种金属‑金刚石肖特基功率器件及其过渡层设计方法,该金属‑金刚石肖特基功率器件包括金刚石衬底和金属层,金刚石衬底和金属层之间设有立方氮化硼过渡层,立方氮化硼过渡层含有1~3层硼氮原子层厚度,并与金刚石衬底的(...
刘胜
程春敏
东芳
孙祥
陈清朋
吴改
沈威
梁康
基于数字孪生的半球形结构陀螺仪飞秒激光抛光修正装置
本发明提供了一种基于数字孪生的半球形结构陀螺仪飞秒激光抛光修正装置。该装置包括:置物台;转动机构,设置在置物台上,用于固定并控制被抛光物体进行转动;飞秒激光发射单元,用于抛光所述被抛光物体;监测组件,包括粗糙度检测单元、...
刘胜
李照东
陈超宇
汪启军
吴改
沈威
东芳
梁康
分子束外延半导体薄膜生长均匀性原位监测方法及系统
本发明公开了一种分子束外延半导体薄膜生长均匀性原位监测方法及系统,方法包括,获取不同分子束外延生长状态下制备的半导体薄膜的光谱信息和反映半导体薄膜生长均匀性的表征数据,并构建数据库;根据数据库训练得到半导体薄膜生长均匀性...
刘胜
宋云飞
梁康
孙启盟
杨德坤
沈威
吴改
汪启军
张文泽
一种优化分子束外延薄膜均匀性的方法
本发明属于半导体薄膜生长技术领域,公开了一种优化分子束外延薄膜均匀性的方法,包括基于源炉‑衬底相对位置信息和源炉束流角度分布信息建立外延薄膜均匀性模型;针对外延薄膜均匀性模型,采用多参数优化方法计算得到外延薄膜均匀性最优...
刘胜
梁康
吴改
甘志银
N沟道金刚石MISFET器件及其制备方法
本发明公开了一种N沟道金刚石MISFET器件及其制备方法,首先准备P型掺杂金刚石层;然后在P型掺杂金刚石层上露出源极和漏极的相应位置,采用刻蚀工艺在源极和漏极的相应位置处分别刻蚀凹槽;之后利用MPCVD工艺,采用硼‑氧共...
刘胜
吴改
沈威
孙祥
汪启军
张栋梁
李瑞
梁康
东芳
基于数字孪生的半球形结构陀螺仪CMP抛光修正装置
本发明提供了一种基于数字孪生的半球形结构陀螺仪CMP抛光修正装置。包括:抛光腔,其内设置有置物台;转动机构,设置在置物台上,用于控制固定在转动机构上的被抛光物体进行转动;抛光机构,包括磨石,磨石用于抛光被抛光物体,抛光机...
刘胜
李照东
陈超宇
汪启军
吴改
沈威
东芳
梁康
半球形金刚石窗口磨抛装置及其磨抛方法
本发明提供了一种半球形金刚石窗口磨抛装置及其磨抛方法。该装置包括:旋转夹持机构,用于固定并控制所述被打磨物体进行转动;研磨颗粒输送机构,通过移动机构驱动,用于向被打磨物体的待打磨表面输送带电的研磨颗粒;电场发生组件,至少...
刘胜
汪启军
王志燊
李照东
郭宇铮
吴改
沈威
东芳
梁康
一种高压输电线路导线修补装置
本发明涉及一种导线修补装置,尤其是涉及一种高压输电线路导线修补装置。一种高压输电线路导线修补装置,其特征在于,包括通过一机械臂(3)连接在行走机器人(1)上的箱体(4)、设置在箱体(4)内夹持机构以及通过一传动机构驱动夹...
吴功平
梁康
肖华
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