马志波
- 作品数：72 被引量：33H指数：4
- 供职机构：西北工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金西北工业大学基础研究基金四川省非金属复合与功能材料重点实验室一省部共建国家重点实验室培育基地开放基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信航空宇航科学技术金属学及工艺更多>>
- 一种蓝宝石基多参量复合光纤传感器及其制备方法和解调方法
- 本发明公开了一种蓝宝石基多参量复合光纤传感器及其制备方法和解调方法，属于光纤传感器技术领域。针对传统的光纤传感器无法保证其高温鲁棒性的前提下实现对单一测点的多参量复合测量问题，本发明中提出的复合光纤传感器主要包括由三层蓝...
- 马志波喜奇苑伟政
- 基于EFPI-FBG耦合光谱的互相关系数补偿方法、系统和设备
- 本发明公开了基于EFPI‑FBG耦合光谱的互相关系数补偿方法、系统和设备，属于光纤传感器解调技术领域。针对传统互相关相位解调EFPI‑FBG耦合光谱带来的级次跳动问题、FBG影响FP腔长的步长跳动问题，以及相位偏移和矫正...
- 马志波 李若飞 喜奇苑曦宸
- 柔性微纳结构制造技术及其应用
- 姜澄宇苑伟政邓进军马炳和马志波何洋叶芳朱鹏飞王云龙郝日鹏庄成乾肖同新侯辉王文庆高洁
- “柔性微纳结构制造技术及其应用”是在国家自然科学基金、863课题等项目支持下的微机电系统(MEMS)器件加工技术的最新研究成果，属于先进制造技术领域。半导体制造技术是微纳结构的主要加工手段之一。特别是MEMS器件，继承了...
- 关键词：
- 关键词：半导体制造技术集成电路制造工艺
- 一种硅深刻蚀中抑制Lag效应的新方法被引量：3
- 2010年
- 在MEMS器件加工过程中,采用ICP刻蚀不同深宽比的三维结构时,由于Lag效应的影响,使较大尺寸的线条有较快的刻蚀速率,导致刻蚀深度的差异。为了抑制Lag效应,本文以S.L.Lai的三阶段模型为基础,提出一种可以对Lag效应进行补偿的刻蚀模型。
- 张洪海苑伟政马志波
- 关键词：MEMS刻蚀速率
- 一种微夹持式双频磁电天线及其制备方法和应用
- 本发明公开了一种微夹持式双频磁电天线及其制备方法和应用，涉及低频段通信技术领域。该磁电天线从上往下依次包括上层磁致伸缩层、压电层和下层磁致伸缩层，压电层的顶部和底部还分别设有上层PCB板和下层PCB板，上层PCB板与上层...
- 马志波宋恩重王熠楠赵山林字国浩
- 一种新型CCD图像采集系统设计被引量：7
- 2006年
- 结合电荷耦合器件和外围设备,介绍了一种CCD图像数据采集系统设计。采用74HC04逻辑非芯片将模数转换芯片和数据缓存芯片之间的CLK信号适当延迟,解决了图像数据模数转换后输出到FIFO缓存的时序控制问题。通过电路设计解决了微控制器难以直接应用于高速数据采集的难题,实现连续图像数据采集和处理,具有较好的通用性。
- 马志波乔大勇虞益挺苑伟政姜澄宇
- 关键词：驱动电路电荷耦合器件FIFO
- 基于光纤F-P腔的压振复合碳化硅传感器及其制备方法和解调方法
- 本发明公开了基于光纤F‑P腔的压振复合碳化硅传感器及其制备方法和解调方法，属于光纤传感器技术领域。针对传统的光纤传感器只能对高温环境下单一参数进行测量的问题，本发明中提出了一种基于光纤F‑P腔的压振复合碳化硅传感器及其制...
- 马志波 喜奇苑伟政
- MEMS微结构粘附问题研究
- 2006年
- 阐述了表面工艺制造MEMS时造成粘附现象的主要方面,并对其进行了完整的理论分析,得出粘附力的大小与器件所处环境的湿度、温度和结构的材料、表面情况以及相对运动等因素有关,并简介了各种技术方法在结构防粘附中的应用。
- 马志波乔大勇苑伟政姜澄宇李晓莹
- 关键词：微机电系统粘附范德瓦耳斯力
- 一种步进式腔长可调光纤F-P腔MEMS传感器及其封装方法
- 本发明提供一种步进式腔长可调光纤F‑P腔MEMS传感器及其封装方法，其中MEMS传感器包括桶型壳体、敏感芯片和光纤，敏感芯片设置在壳体底部，光纤轴向设置在壳体内与敏感芯片相对，壳体下端部设置有水平调节机构，水平调节机构延...
- 马志波 常志闯 喜奇苑曦宸 田智勇
- 一种微型平板静电驱动器及其制作方法
- 一种微型平板静电驱动器及其制作方法，为了克服现有技术中所需驱动电压高的缺陷，本发明提出了一种具有非线性弹性系数的支撑梁结构，将锚梁5的一端固定于锚点12上，锚点12固定在绝缘层上。锚梁5和内弹性梁7通过横梁9平行连接，触...
- 苑伟政乔大勇虞益挺饶伏波马志波李晓莹
- 文献传递
