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韩夏

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：北京航空航天大学材料科学与工程学院更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇英文
  • 1篇射线衍射
  • 1篇扩散
  • 1篇X射线衍射

机构

  • 1篇北京航空航天...

作者

  • 1篇王树彬
  • 1篇马学锋
  • 1篇韩夏

传媒

  • 1篇人工晶体学报

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
大气开放式MOCVD氧化镁薄膜的生长及表征(英文)被引量：1
2007年
以2,4-乙酰丙酮化镁为前驱体,衬底温度为480℃,采用MOCVD工艺,分别在玻璃、氧化铝陶瓷、单晶Si(111)和Si(100)衬底上生长了取向生长的氧化镁薄膜。X射线衍射结果表明,无论是采用玻璃、氧化铝、单晶Si(111)和Si(100)衬底,氧化镁薄膜都是沿着(100)晶面取向生长。通过扫描电镜观察得到,在单晶Si(100)衬底上生长的氧化镁薄膜表面平整致密。模拟卢瑟福背散射结果显示,沉积时间超过70min时,界面处发生硅向氧化镁层少量扩散现象。
王树彬韩夏马学锋
关键词：X射线衍射扩散
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