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苏毅

作品数：3 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所更多>>
相关领域：机械工程金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇机械工程

主题

  • 3篇微齿轮
  • 3篇齿轮
  • 2篇多晶
  • 2篇多晶硅
  • 1篇微机械
  • 1篇微机械加工
  • 1篇微型泵
  • 1篇微型化
  • 1篇硅

机构

  • 3篇中国科学院上...

作者

  • 3篇王渭源
  • 3篇苏毅
  • 3篇赵新安
  • 2篇谭淞生
  • 1篇张熙

传媒

  • 1篇应用科学学报
  • 1篇传感技术学报
  • 1篇第二届全国敏...

年份

  • 1篇1993
  • 1篇1992
  • 1篇1991
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
亚毫米多晶硅微齿轮的初步研制被引量：1
1992年
自1989年美国加里弗尼亚大学报导采用IC技术首次成功地制作了微型静电电动机(转子直径为60μm和120μm)之后,以硅材料为主的微机械加工技术得到了世界各国科学家的高度重视和大力发展.微齿轮是微电动机的主要构件,通过它的研制。
苏毅赵新安谭淞生王渭源
关键词：齿轮多晶硅
微齿轮加工工艺研究被引量：1
1993年
微机械加工技术是在IC平面工艺结合牺牲层腐蚀工艺基础上发展和形成的.在八十年代中应用了这种准三维加工技术,出现了尺寸在几十到几百微米的微型传感器.从而,传感器的性能和成品率得到提高,而成本下降.同时,为微电子机械集成奠定了一定的基础.尤其是1988年美国加里弗尼亚大学采用这种工艺成功地制成了直径仅为头发丝粗细的硅静电马达,从此得到了世界各国科学家的高度重视和大力发展.
赵新安苏毅张熙谭淞生王渭源
关键词：微齿轮微机械加工齿轮
亚毫米多晶硅微齿轮的初步研究
苏毅赵新安王渭源
关键词：齿轮多晶微型化微型泵硅
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