王勇
- 作品数：56 被引量：57H指数：5
- 供职机构：中国科学院上海应用物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国科学院知识创新工程重要方向项目上海市科学技术委员会基础研究重点项目更多>>
- 相关领域：理学机械工程核科学技术自动化与计算机技术更多>>
- 梦之线光栅单色器温度起伏对能量漂移的影响被引量：1
- 2018年
- 为了确保光栅单色器温度起伏引起的能量漂移不影响光束线的表观能量分辨率,建立了单色器高精度的恒温环境。结合上海光源梦之线设计,根据光栅衍射方程推导出单色器温差与能量漂移之间的关系;据此设计了沿光束方向温度起伏较小的单色器恒温环境,测试了温度控制系统不同条件下的长期温度稳定性,并通过长时间多次测量氮气K边吸收谱的方法,得到了相应的能量漂移。结果显示:温度控制系统未启动的情况下,棚屋内最大温度变化约为0.62K,测得的能量漂移约为49 meV;温度控制系统使用独立冷水机时,最大温度变化约为0.20 K,相应的能量漂移约为17meV。实验表明,建立的单色器恒温环境满足设计要求,使得单色器温差引起的能量漂移对梦之线表观能量分辨率的影响得到有效控制。
- 陈家华邹鹰邹鹰卢启鹏王勇
- 关键词：温度起伏能量分辨率
- 同步辐射扫描透射X射线显微成像系统振动的闭环控制方法研究
- 2024年
- 上海同步辐射光源(Shanghai Synchrotron Radiation Facility,SSRF)扫描透射X射线显微成像(Scanning Transmission X-ray Microscopy,STXM)实验站是国内首个自主研制的STXM实验系统,目前该系统波带片聚焦直接成像分辨率达到15 nm,扫描相干衍射成像方法成像的分辨率达到7.32 nm。系统振动是影响其成像质量的主要因素。本文针对波带片和样品之间系统振动进行详情分析,并提出相应的抑制策略,旨在提升STXM系统的成像质量。采用激光干涉仪和现场可编程门阵列(Field Programmable GateArray,FPGA)技术,从软件层面开发了一种针对STXM中波带片和样品位置稳定性的闭环控制系统。该控制系统在最佳条件下可将STXM系统振动的均方根值(Root Mean Square,RMS)有效控制到4.833 nm,减少至原振动水平的约1/3,为STXM系统的成像质量进一步提升奠定了技术基础。
- 姚镇焦禹晨赵波孙天啸张宇飞郭智郭智许子健王勇刘海岗许子健邰仁忠
- 关键词：STXM激光干涉仪压电电机FPGA闭环控制
- 一种同步辐射软X射线无损实时位置分辨电离室
- 本实用新型提供一种同步辐射软X射线无损实时位置分辨电离室，包括密封壳体以及在所述密封壳体中上下平行对置的高压电极板和收集电极板，其特征在于，所述收集电极板呈矩形，并由两个呈直角三角形的微通道板模块拼接而成。本实用新型通过...
- 薛超凡吴衍青王勇邰仁忠
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- 变包含角平面光栅单色仪的机械精度分析与测试被引量：4
- 2009年
- 在上海同步辐射装置软X射线谱学显微光束线站建设中,为达到变包含角平面光栅单色仪的能量分辨率要求,平面镜和光栅的转角重复精度必须要求达到0.43"。为此我们建立了一套由光电自准直仪组成的测试系统,可以对平面镜和光栅机构进行测试。应用该系统测试了平面镜转角重复精度为0.166",光栅转角重复精度为0.149",分辨率达到0.03",满足了平面镜和光栅的转角重复精度和分辨率要求。此外,还测量了光栅切换机构的重复精度。
- 刘楷薛松卢启鹏彭忠琦吴坤陈家华王勇巩志华
- 关键词：光电自准直仪
- 带原位蒸金功能的软X射线光束线通量检测装置
- 本实用新型涉及带原位蒸金功能的软X射线光束线通量检测装置，具有真空六通法兰管道，该管道具有沿其x向设置的连接上游和下游光学部件的入射和出射法兰，在两法兰之间的真空法兰管道内有金网，沿其y向设有固接有蒸金器的蒸金器安装法兰...
- 邹鹰王勇邰仁忠
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- 利用扫描透射X射线显微镜观测磁涡旋结构
- 2015年
- 利用上海光源软X射线谱学显微光束线站(STXM)并结合X射线的磁圆二色效应,我们对方形、圆形和三角形的Ni80Fe20薄膜微结构中的磁涡旋结构进行了定量实验观测,并利用同步辐射光源的元素分辨特性,分别在Fe和Ni的L3吸收边对涡旋磁结构进行了观测.我们还对磁涡旋中磁矩的分布进行了定量分析,发现实验结果与微磁学模拟结果完全符合.
- 孙璐火炎周超梁建辉张祥志许子健王勇吴义政
- 一种用于软X射线谱学显微成像的原位磁场系统
- 本实用新型涉及一种用于软X射线谱学显微成像的原位磁场系统，其包括：通过一万向磁力表座安装在一真空腔体内的电磁铁，其包括：由相互平行设置的上水平磁铁板和下水平磁铁板、以及连接在所述上水平磁铁板和下水平磁铁板之间的竖直磁铁板...
- 孟祥雨王勇甄香君郭智张丽娟张祥志于怀娜曹杰锋李俊琴邰仁忠
- 文献传递
- 一种用于软X射线近边吸收谱测量的原位标样系统
- 本实用新型提供一种用于软X射线近边吸收谱测量的原位标样系统，包括：一真空腔体，X射线从所述真空腔体的一端沿中轴线进入；通过一柔性管材在所述真空腔体的上方与所述真空腔体连接的二维位移台；与所述二维位移台连接并在所述柔性管材...
- 曹杰峰王勇朱方园孟祥雨甄香君邰仁忠
- 文献传递
- 极紫外掩模的同步辐射在波长高分辨成像仿真研究
- 2025年
- 极紫外(Extreme Ultraviolet,EUV)光刻要求近乎无缺陷的EUV掩模,需要对EUV掩模缺陷进行高分辨率的在波长成像分析,分析结果用于后续的修复工艺。同步辐射可以提供优质、洁净的EUV光,结合傅里叶合成照明技术,可有效合成较大的数值孔径(Numerical Aperture,NA),实现对EUV掩模缺陷的高分辨分析,该技术已在多个国际同步辐射装置上得到广泛应用。受限于传统圆形波带片数值孔径特性,国际上EUV掩模检测的最高分辨率仅达到22 nm。为了进一步提升成像分辨率,提出了采用椭圆形波带片替代常规的圆形波带片设想,并进行了系统性仿真研究。计算结果表明,椭圆形波带片数值孔径可达4×NA=1.15,显著高于圆形波带片的4×NA=0.625。采用极端双极照明模式可以实现12 nm极限分辨率,远高于目前的国际最高分辨率。该研究结果对基于同步辐射光源的EUV掩模缺陷的在波长成像分辨率提高具有重要意义。
- 苏子净刘海岗刘海岗张祥志孟祥雨郭智张祥志邰仁忠
- 一种软X射线吸收谱的测量系统
- 本实用新型提供一种软X射线吸收谱的测量系统，包括位于同一光轴上的平面光栅单色器、金网和待测样品，以及与所述平面光栅单色器、金网和待测样品均相连的EPICS系统，所述EPICS系统包括通过以太网相连的操作员电脑和输入/输出...
- 孙天啸张祥志曹杰锋李小艳邰仁忠王勇郭智邢振江何健孟祥雨
- 文献传递
