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郭浩

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：沈阳工业大学更多>>
相关领域：医药卫生交通运输工程自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇交通运输工程
  • 1篇医药卫生

主题

  • 2篇电路
  • 2篇电路工艺
  • 2篇应变电阻
  • 2篇绝缘
  • 2篇绝缘介质
  • 2篇集成电路
  • 2篇集成电路工艺
  • 2篇SOI技术
  • 2篇迟滞性
  • 1篇血流
  • 1篇压力传感器
  • 1篇压阻
  • 1篇压阻特性
  • 1篇速度传感器
  • 1篇阻抗
  • 1篇力传感器
  • 1篇惠斯通电桥
  • 1篇肌肉疲劳
  • 1篇加速度
  • 1篇加速度传感器

机构

  • 4篇沈阳工业大学

作者

  • 4篇郭浩
  • 3篇揣荣岩
  • 3篇赵豪
  • 2篇王健
  • 1篇刘晓为
  • 1篇杨理践
  • 1篇王健

传媒

  • 1篇2013‘全...

年份

  • 1篇2023
  • 1篇2017
  • 1篇2014
  • 1篇2013
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
基于血流阻抗的肌肉疲劳检测与评估方法研究
郭浩
基于SOI技术的MEMS压力传感器芯片及其制造方法
本发明公开了一种基于SOI技术的MEMS压力传感器及其制造方法，适用于测量绝对压力，包括单晶硅衬底，在单晶硅衬底的凹槽上设置平坦型弹性膜片，弹性膜片边缘设置腐蚀孔，弹性膜片与硅衬底凹槽构成密闭空腔，在弹性膜片上面设有四个...
揣荣岩王健郭浩赵豪
文献传递
基于SOI技术的MEMS压力传感器芯片及其制造方法
本发明公开了一种基于SOI技术的MEMS压力传感器及其制造方法，适用于测量绝对压力，包括单晶硅衬底，在单晶硅衬底的凹槽上设置平坦型弹性膜片，弹性膜片边缘设置腐蚀孔，弹性膜片与硅衬底凹槽构成密闭空腔，在弹性膜片上面设有四个...
揣荣岩王健郭浩赵豪
多晶硅纳米膜压阻特性与MEMS传感器
从二十世纪70年代起，多晶硅薄膜的压阻特性开始受到关注，并被用于研制力学量传感器。在随后二十年左右的时间里，多晶硅压阻理论得到了较为系统的研究。其主流的研究成果一直沿用至今，认为晶粒中性区和势垒区对多晶硅的压阻特性都有贡...
揣荣岩郭浩王健赵豪刘晓为杨理践
关键词：压阻特性压力传感器加速度传感器
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