2025年9月3日
星期三
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朱吴乐
作品数:
63
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浙江大学
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相关领域:
金属学及工艺
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文化科学
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居冰峰
浙江大学
赵翔
浙江大学
孙安玉
浙江大学
孙奇
浙江大学
陈远流
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朱吴乐
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2012
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一种半导体吸盘非连续表面的平面度干涉检测方法
本发明涉及一种半导体吸盘非连续表面的平面度干涉检测方法,通过单波长激光平面干涉仪采集到包含半导体吸盘非连续表面相位信息的干涉图像,筛选出有效数据点,计算出非连续表面的包裹相位,利用离散二值化的相位数据叠放后在三维坐标系中...
王帅
段博崧
朱吴乐
居冰峰
基于变构形网格栅极组件的离子束全口径面形校正方法
本发明涉及一种基于变构形网格栅极组件的离子束全口径面形校正方法,属于超精密加工领域,包括以下步骤:根据工件面形误差设计加工变构形网格栅极组件;将变构形网格栅极组件安装于离子源前端,以调控离子源出射的离子束的总束流密度函数...
朱吴乐
赵翔
高威
孙奇
韩放
薛曹阳
吴思东
居冰峰
一种采用多目超构表面的激光三角位移测量方法和器件
本发明公开了一种采用多目超构表面的激光三角位移测量方法和器件。首先基于超构表面技术将传统激光三角位移传感器中的发射镜组、接收镜组和滤光片集成为了一体式的多目超构表面模块,该模块可同时实现对出射激光的准直、目标被测物上散射...
吴佳君
俞竞威
朱吴乐
居冰峰
一种基于超表面阵列的多频线阵激光三维精密扫描方法
本发明公开了一种基于超表面阵列的多频线阵激光三维精密扫描方法,包括多频分立和多频融合两种激光线阵编码测量模式,基于多频激光光源、矩形光阑、滤光片阵列和超表面阵列可以实现对目标被测物表面上多频激光线阵的精细化分立聚焦投影或...
居冰峰
吴佳君
朱吴乐
赵冉
李仁举
赵晓波
江腾飞
孙安斌
一种浮动非接触式超声增强柔性子孔径抛光装置及方法
本发明公开了一种浮动非接触式超声增强柔性子孔径抛光装置及方法;通过X轴运动平台、Y轴运动平台、Z轴运动平台、工件摆台联动控制,保证加工点位置工具法线与工件法线保持同一角度,实现子孔径加工;通气主轴的气压作用在滚珠花键轴内...
朱吴乐
韩放
武璐
孙安玉
居冰峰
文献传递
利用电子风力的半导体芯片大规模一致性缺陷修复方法
本发明涉及一种利用电子风力的半导体芯片大规模一致性缺陷修复方法,属于半导体技术领域,该方法分三次向半导体芯片接入高频交流电,三次接入的高频交流电的电流方向相互垂直,用高频交流电的电子依次从三个方向来回撞击半导体芯片内部的...
朱吴乐
李岳隆
甄宗保
巨阳
居冰峰
基于激光超声的表面缺陷开口宽度的测量装置及其方法
本发明公开了基于激光超声的表面缺陷开口宽度的测量装置及其方法。其步骤为:1)脉冲激光器探头和激光干涉仪探头放置在工件表面缺陷的一侧;2)脉冲激光器在工件表面激励出声表面波,激光干涉仪分别测得直达表面波信号R<Sub>1<...
居冰峰
王传勇
薛茂盛
朱吴乐
孙泽清
孙安玉
一种基于光谱共焦的半球谐振子内外表面形貌测量方法
本发明涉及一种基于光谱共焦的半球谐振子内外表面形貌测量方法。本发明包括:调节位移运动台和姿态调整台使光谱共焦测头光轴与半球谐振子转轴相交;划分扫描测量间隔并对测量点处进行曲面平行平板近似,记录平板与光谱共焦测头垂面间的理...
朱吴乐
吴佳君
孙安玉
居冰峰
蒋效雄
姜丽丽
一种弹性磁电柔性抛光工具头及使用方法
本发明涉及一种弹性磁电柔性抛光工具头及使用方法,属于超精密抛光领域,弹性磁电柔性抛光工具头包括工具磨头基体和磨头,磨头包括硅橡胶层和聚四氟乙烯层;所述的聚四氟乙烯层粘结在工具磨头基体上,聚四氟乙烯层表面通过沉积的方式设置...
朱吴乐
薛曹阳
韩放
高威
居冰峰
一种基于超结构色散共焦的复杂曲面形貌测量方法及系统
本发明公开了一种基于超结构色散共焦的复杂曲面形貌测量方法及系统,宽谱激光光源发出的光线经传输光纤、耦合器和光纤准直器后变为平行光,再由微型色散共焦探头产生光谱色散,聚焦于被测表面的光线反射回光谱仪,通过微处理器解码光谱‑...
朱吴乐
吴佳君
赵冉
孙安玉
居冰峰
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