崔林
- 作品数：3 被引量：3H指数：1
- 供职机构：沈阳工业大学信息科学与工程学院更多>>
- 发文基金：辽宁省高校创新团队支持计划辽宁省科学技术基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：动力工程及工程热物理电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 多晶硅纳米薄膜牺牲层压力敏感结构设计被引量：3
- 2010年
- 为使多晶硅纳米薄膜良好的压阻特性在MEMS（微机电系统）压阻传感器中得到有效应用，在设计牺牲层结构压力传感器芯片中探索性地采用了多晶硅纳米薄膜作为应变电阻，并给出这种传感器的设计方法。分析了牺牲层结构弹性膜片的应力分布对传感器灵敏度的影响，优化设计了量程为0—0．2MPa多晶硅纳米膜压力传感器芯片的结构参数。有限元法仿真结果表明：在保证传感器灵敏度大于50mV／（MPa·V）的前提下，零点温漂系数可小于1×10^-3FS／℃；灵敏度温漂（无电路补偿）可小于1×10^-1FS／℃．为高灵敏、低温漂、低成本的高温压力传感器集成化发展提供了一条可行途径。
- 揣荣岩崔林王健王健刘本伟郑雁公
- 关键词：牺牲层有限元密封腔
- 多晶硅纳米薄膜MEMS力敏结构研究
- 压力传感器是应用极为广泛的一种传感器。多晶硅压力传感器的研究和开发拓宽了压力传感器的应用领域。本论文的内容分为四个部分:第一部分为绪论,对高温压力传感器制造技术的发展进行综述,对它们的基本结构、工作原理、特点进行了论述,...
- 崔林
- 关键词：牺牲层有限元密封腔
- 文献传递
- 牺牲层结构压力传感器技术被引量：1
- 2009年
- 为使多晶硅纳米薄膜良好的压阻特性在微机电系统压阻传感器中得到有效应用,在设计牺牲层结构压力传感器芯片中探索性地采用多晶硅纳米薄膜作为应变电阻,并对这种传感器的工艺方法进行了研究.通过对牺牲层材料及结构的分析,给出了传感器的工艺流程,指出其中存在的工艺难点并给出了解决方法.利用牺牲层技术和多晶硅纳米薄膜制做压阻传感器,不但可以提高传感器的灵敏度,还可改善温度特性,而且可与集成电路工艺相兼容.
- 揣荣岩郑雁公刘本伟王文东崔林李新
- 关键词：牺牲层灵敏度化学气相淀积多晶硅密封腔
