王季陶
- 作品数：89 被引量：193H指数：9
- 供职机构：复旦大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划高等学校骨干教师资助计划更多>>
- 相关领域：理学电子电信化学工程一般工业技术更多>>
- 低介电常数非晶氟碳薄膜光谱表征被引量：7
- 2001年
- 以C4 F8 和CH4 为原料气 ,通过等离子体增强化学气相淀积的方法制备了非晶氟碳薄膜 ,在实验条件下所得薄膜的介电常数为 2 3。薄膜的傅里叶变换红外光谱表明该薄膜中除了含有CFn(n=1～ 3)基团外 ,还含有少量的 CO ,CC 等不饱和双键 ,没有迹象表明C—H和O—H的存在。X射线光电子能谱进一步证明了薄膜中的碳元素有六种不同的化学状态分别为CF3 (8% )、CF2 (19% ) ,CF(2 6 7% )、C—CFn(4 2 5 % ) ,C—C(3 3% )和CO (0 5 % ) ,表明薄膜中大约 5 4%的碳原子与氟成键 ,大约 43%的碳原子不是与氟成键 ,而是与碳氟基团CFn 中的碳原子成键 ,毗连的两个碳原子上均没有氟参与成键的几率很小。
- 丁士进王鹏飞张卫王季陶李伟
- 关键词：傅里叶变换红外光谱X射线光电子能谱
- 低压化学汽相淀积金属铜薄膜
- 曹传宝王季陶
- 关键词：低压化学汽相沉积铜金属薄膜
- 添加氧影响下低压金刚石生长的条件被引量：4
- 1998年
- 采用非平衡热力学耦合模型研究金刚石在ＣＯ－Ｈ２、ＣＯ－Ｏ２－Ｈ２体系中的生长情况，计算不同氧含量下的金刚石生长相图，固定氧氢比考察压力变化对金刚石生长区的影响，讨论了不同氧氢含量对金刚石生长区的影响．与经典的平衡热力学理论计算所得的相图不同，本文的相图均有金刚石生长区，可以很好地解释低压下金刚石在气相中的生长，还可以用于指导低压金刚石生长的实验研究．
- 刘志杰万永中张卫张剑云王季陶
- 关键词：相图金刚石低压
- 等离子体增强化学气相淀积a-SiCOF薄膜的稳定性研究被引量：1
- 2001年
- 以正硅酸乙酯 (TEOS) /C4 F8/Ar为气源 ,采用等离子体增强化学气相淀积(PECVD)方法制备了低介电常数a SiCOF介质薄膜 ,并借助X射线光电子能谱 (XPS)和傅立叶变换红外光谱 (FTIR)对薄膜的化学键结构、热稳定性和抗吸水性进行了研究。
- 丁士进张庆全王鹏飞张卫王季陶
- 关键词：稳定性XPSFTIR红外光谱氧化硅薄膜
- 非平衡定态相图在含氮体系低压金刚石沉积中的应用
- 1999年
- ０前言最近几年低压金刚石制备研究中，出现了一类以含氮气相混合物为原料的制备方法，正逐渐被人们所重视：少量氮原子的存在（甚至是ｐｐｍ级）可以显著提高金刚石薄膜的淀积速率，改善薄膜质量［１，７］。本文报道根据非平衡热力学耦合理论［１０］，首次计算得到了含...
- 刘志杰张卫张剑云丁士进王鹏飞王季陶
- 关键词：金刚石非平衡定态相图
- 非平衡定态相图在激活低压气相生长金刚石中的应用
- 碳的平衡相图是人们所熟悉的,但它却不能解释在激活条件下低压气相生长金刚石薄膜的实验现象。本文介绍了非平衡热力学耦合模型,并从热力学角度解释了激活低压金刚石生长的现象。该模型用于激活低压金刚石的生长,可计算得到低压下生长金...
- 万永中刘志杰张卫王季陶
- 关键词：相图金刚石非平衡定态
- 文献传递
- ＳＯＬ－ＧＥＬ法制备ＢａＴｉＯ<,3>薄膜
- 曹传宝王季陶
- 关键词：钛酸盐钡化合物
- 用于ULSI的低k氟化非晶碳膜研究被引量：5
- 2001年
- 综述了用于超大规模集成电路中互连介质的氟化非晶碳膜（ａ－Ｃ：Ｆ）的制备、化学键结构、介电常数与热稳定性、填隙能力、粘附性、热导率等性能，为开发具有新型功能的低介电常数材料提供了指导。
- 丁士进王鹏飞张卫王季陶李伟
- 关键词：ULSI集成电路化学汽相淀积
- 激活温度对C-H、C-O和C-H-O体系低压金刚石生长条件的影响被引量：3
- 1998年
- 激活温度和衬底温度是低压人造金刚石制备过程中的两个重要的温度参数，激活温度决定着制备过程中一些重要激活粒子如超平衡氢原子和超平衡氧原子等的浓度，而衬底温度对能否成功地生长金刚石也有重要作用。采用合理的理论计算可以预测温度对金刚石生长条件的影响。本研究采用非平衡热力学耦合模型计算了C－H、C－O和C－H－O体系不同激活温度下的金刚石生长相图，研究了激活温度和衬底温度对金刚石生长区的影响规律．本研究结果将对金刚石气相生长实验中激活温度和衬底温度的合理选取具有指导意义。
- 刘志杰张卫万永中王季陶
- 关键词：气相生长相图C-H
- 低压气相生长人造金刚石的热力学耦合理论模型被引量：5
- 1997年
- 激活的化学汽相淀积(CVD)条件下低压生长人造金刚石(以下简称CVD金刚石或金刚石低压气相生长)的研究在80年代就成为世界范围的热点之一.众所周知,碳的平衡相图中,低压下石墨是稳相而金刚石是亚稳相.因此在长时间中没有人能很好地解释为什么会在低压下生长金刚石而不是生长石墨.1990年2月Yarbrough在Science杂志上发表一篇“CVD金刚石的现状和问题”的总结性评论时说:“所有的理论模型(指当时已提出的)
- 王季陶黄忠强万永中张卫郑培菊
- 关键词：相图金刚石气相生长低压CVD
- 全文增补中
