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潘丁娟
作品数:
2
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供职机构:
常州大学
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相关领域:
轻工技术与工程
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合作作者
李星星
常州大学
苏江滨
常州大学
蒋美萍
常州大学
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轻工技术与工...
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直流磁控
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纳米线
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机构
2篇
常州大学
作者
2篇
蒋美萍
2篇
潘丁娟
2篇
苏江滨
2篇
李星星
年份
1篇
2014
1篇
2012
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一种铜纳米线/铜膜复合结构及其制备方法
本发明公开了一种铜纳米线/铜膜复合结构及其制备方法,目的是提供一种铜纳米线/铜膜复合结构及其磁控溅射制备方法。本发明采用小沉积角度的直流磁控溅射掠射沉积技术,通过适当调节薄膜厚度、衬底温度和衬底偏压,在玻璃衬底上制备了一...
苏江滨
蒋美萍
李星星
潘丁娟
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一种铜纳米线/铜膜复合结构及其制备方法
本发明公开了一种铜纳米线/铜膜复合结构及其制备方法,目的是提供一种铜纳米线/铜膜复合结构及其磁控溅射制备方法。本发明采用小沉积角度的直流磁控溅射掠射沉积技术,通过适当调节薄膜厚度、衬底温度和衬底偏压,在玻璃衬底上制备了一...
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