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李伟奇

作品数:17 被引量:5H指数:1
供职机构:华中科技大学更多>>
发文基金:国家杰出青年科学基金更多>>
相关领域:机械工程一般工业技术理学更多>>

文献类型

  • 15篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇机械工程
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 7篇椭偏仪
  • 5篇光谱
  • 5篇光强
  • 4篇探测器
  • 4篇波段
  • 4篇波片
  • 3篇校准
  • 3篇谐波
  • 2篇旋钮
  • 2篇仪器
  • 2篇噪声
  • 2篇随机噪声
  • 2篇透射
  • 2篇透射式
  • 2篇偏振
  • 2篇偏振光
  • 2篇起偏器
  • 2篇紫外波段
  • 2篇氙灯
  • 2篇系统参数

机构

  • 16篇华中科技大学

作者

  • 16篇李伟奇
  • 15篇刘世元
  • 15篇张传维
  • 14篇陈修国
  • 7篇杜卫超
  • 6篇谷洪刚
  • 3篇李苏斌

年份

  • 3篇2016
  • 6篇2015
  • 7篇2013
17 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
一种透射式全穆勒矩阵光谱椭偏仪及其测量方法
本发明公开了一种透射式全穆勒矩阵光谱椭偏仪及其测量方法,方法是将起偏臂产生的调制光线投射到待测样件表面,检偏臂将待测样件反射(或透射)的光线解调并接收,通过对测量光谱进行谐波分析,计算获得待测样件的全穆勒矩阵信息,并通过...
刘世元李伟奇张传维陈修国
文献传递
椭偏仪测量系统的随机误差评估方法
本发明公开了一种评估椭偏仪测量系统的随机误差的方法。该方法首先建立椭偏仪测量系统的系统模型和系统传递函数,然后通过分析椭偏仪测量系统的随机噪声的来源及特点,建立适用于具体配置类型椭偏仪测量系统的随机噪声模型,最后根据传递...
刘世元谷洪刚陈修国张传维李伟奇杜卫超
文献传递
一种复合波片光轴对准方法
本发明公开了一种复合波片光轴对准方法,首先,将待对准的复合波片中的一个单波片固定不动,将另外一个单波片与旋转装置相连,使两个单波片之间产生相对转动;然后将偏振光垂直投射在待对准复合波片上,并用探测器探测从待对准复合波片上...
刘世元谷洪刚陈修国张传维李伟奇杜卫超
文献传递
一种四分之一双波片相位延迟器
本发明公开了一种四分之一双波片相位延迟器,可在紫外、可见及近红外的波段范围内实现消色差,其特征在于,该双波片相位延迟器由两个同种材料或者不同材料的四分之一零级波片构成,该两零级波片沿光轴平行布置,且两光轴夹角为45°,其...
刘世元谷洪刚张传维陈修国李伟奇杜卫超
一种用于光学测量仪器样品台校准的系统及其方法
本发明公开了一种用于光学测量仪器样品台校准的系统及方法。在椭偏仪直通式的情况下进行光路系统的对准,包括前光路和后光路的对准;在椭偏仪斜入射式粗调样品台上的旋钮,使得检偏臂光学接收器孔能够接受到一部分光束;微调样品台上的旋...
刘世元李苏斌陈修国李伟奇张传维
文献传递
一种复合波片光轴对准方法
本发明公开了一种复合波片光轴对准方法,首先,将待对准的复合波片中的一个单波片固定不动,将另外一个单波片与旋转装置相连,使两个单波片之间产生相对转动;然后将偏振光垂直投射在待对准复合波片上,并用探测器探测从待对准复合波片上...
刘世元谷洪刚陈修国张传维李伟奇杜卫超
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一种透射式全穆勒矩阵光谱椭偏仪及其测量方法
本发明公开了一种透射式全穆勒矩阵光谱椭偏仪及其测量方法,方法是将起偏臂产生的调制光线投射到待测样件表面,检偏臂将待测样件反射(或透射)的光线解调并接收,通过对测量光谱进行谐波分析,计算获得待测样件的全穆勒矩阵信息,并通过...
刘世元李伟奇张传维陈修国
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一种光谱椭偏仪中氙灯光源的光强平滑处理装置及方法
本发明公开了一种应用到光谱椭偏仪中的氙灯光线光强平滑处理装置及方法。该光强平滑处理装置包括准直透镜、汇聚透镜和光阑,准直透镜为消色差透镜,用于将待处理的氙灯光线准直为平行光束;汇聚透镜为单透镜,用于将平行光束汇聚聚焦,汇...
刘世元李伟奇张传维陈修国
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旋转器件型光谱椭偏仪系统参数校准方法
本发明公开了一种用于旋转器件型光谱椭偏仪系统参数的校准方法,该方法可以在一次测量中获取旋转器件型光谱椭偏仪中全光谱范围的系统参数,其方法是将任意厚度的标准样件作为待测样件,使用待校准光谱椭偏仪进行测量,对测量获得的光强谐...
刘世元李伟奇张传维陈修国
文献传递
椭偏仪测量系统的随机误差评估方法
本发明公开了一种评估椭偏仪测量系统的随机误差的方法。该方法首先建立椭偏仪测量系统的系统模型和系统传递函数,然后通过分析椭偏仪测量系统的随机噪声的来源及特点,建立适用于具体配置类型椭偏仪测量系统的随机噪声模型,最后根据传递...
刘世元谷洪刚陈修国张传维李伟奇杜卫超
文献传递
共2页<12>
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