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吴春阳
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1
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供职机构:
沈阳真空技术研究所
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
孙旭
沈阳真空技术研究所
康宁
沈阳真空技术研究所
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沈阳真空技术...
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康宁
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吴春阳
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孙旭
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中国真空学会...
年份
1篇
2001
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VG-1 高灵敏真空控制仪的研制
该文简要介绍了应用扩散硅压力传感器研制的VG-1高录敏真空控制仪。
吴春阳
康宁
孙旭
关键词:
真空测量仪表
扩散硅
压力传感器
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