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李菊兰
作品数:
3
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供职机构:
昆明物理研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
田种运
昆明物理研究所
孙娟
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第七届红外技...
年份
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1990
1篇
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混合红外焦平面倒装焊工艺模拟实验
1990年
运用蒸Al、镀In、光刻技术,在InSb、HgCdTe和Si片上制成雨维In柱电极,完成两维列阵模拟互连工艺。
田种运
孙娟
李菊兰
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1×12元InSb混合红外CCD器件性能参数讨论
1990年
本文主要介绍一种采用时间延迟积分模式的硅CCD和1×12元InSb红外探测器互连而成的器件,并就如何提高其探测率进行了讨论。
李菊兰
田种运
关键词:
红外
CCD器件
INSB
探测器
串扫2×12元混合红外电荷藕合器件
描述用硅CCD作读出、工作波段为3—5微米的2×12元InSb探测器的混合工艺。InSb探测器件是制备在一块n型InSb衬底上的光电二极管,在焦平面中,通过P沟道的CCD对InSb列阵进行时间延迟积分。测量了它...
田种运
李菊兰
季若曦
关键词:
探测器
光电二极管
光电效应
生产工艺
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