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唐小平

作品数：3 被引量：8H指数：2
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 3篇电子电信

主题

  • 3篇光刻
  • 1篇电路
  • 1篇亚半微米
  • 1篇投影光刻
  • 1篇投影光刻机
  • 1篇投影物镜
  • 1篇微米
  • 1篇温度补偿
  • 1篇物镜
  • 1篇集成电路
  • 1篇光刻机
  • 1篇分步重复投影...
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体器件
  • 1篇IC
  • 1篇大规模集成电...

机构

  • 3篇中国科学院

作者

  • 3篇唐小平
  • 2篇姚汉民
  • 2篇张津
  • 1篇陈旭南
  • 1篇胡淞
  • 1篇王继红

传媒

  • 3篇微细加工技术

年份

  • 2篇1999
  • 1篇1998
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
亚半微米光刻投影物镜温度补偿控制及算法研究被引量：2
1999年
主要介绍一种光刻机投影物镜温度补偿控制的原理及控制算法。根据系统结构、对象特性和过程指标要求，采用了一种智能型线性－模糊控制器，获得了优良的动态和稳态性能。
张津姚汉民陈旭南唐小平
关键词：投影物镜温度补偿光刻大规模集成电路
0.35μm分步重复投影光刻机气浮工件台研究被引量：4
1998年
本文阐述了气浮工件台的组成、工作原理及控制方法 。
王继红唐小平
关键词：半导体器件光刻机
高精度逐场调焦调平实时动态控制算法研究被引量：2
1999年
主要介绍一种高精度逐场调焦调平实时动态控制算法。逐场动态精确求解耦合传递矩阵和解耦矩阵，将每个 Ｃ Ｈ Ｉ Ｐ的坐标位置和尺寸纳入耦合关系，使各控制回路实时独立调节，以满足系统稳定和高精度实时逐场调焦调平。
张津姚汉民唐小平胡淞
关键词：IC光刻
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共1页<1>
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