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陈林

作品数：13 被引量：10H指数：2
供职机构：北京邮电大学电子工程学院更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术理学电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 13篇中文期刊文章

领域

  • 9篇电子电信
  • 3篇自动化与计算...
  • 1篇机械工程
  • 1篇电气工程
  • 1篇核科学技术
  • 1篇理学

主题

  • 9篇离子注入
  • 8篇注入机
  • 8篇离子注入机
  • 4篇强流离子注入...
  • 3篇束流
  • 3篇半导体
  • 3篇半导体器件
  • 2篇图像
  • 2篇强流
  • 2篇强流离子束
  • 2篇晶片
  • 2篇距离图
  • 2篇机械扫描
  • 2篇加速管
  • 1篇等离子体
  • 1篇真空系统
  • 1篇三维图
  • 1篇三维图像
  • 1篇三维图像处理
  • 1篇视觉传感

机构

  • 7篇电子工业部
  • 6篇长沙大学
  • 3篇中国电子科技...
  • 1篇北京邮电大学
  • 1篇山东工程学院
  • 1篇电子部
  • 1篇信息产业部

作者

  • 13篇陈林
  • 6篇刘晓芝
  • 1篇孙利平
  • 1篇李田泽
  • 1篇杨建生
  • 1篇王应德

传媒

  • 3篇微细加工技术
  • 2篇传感器世界
  • 2篇半导体情报
  • 1篇传感器技术
  • 1篇半导体技术
  • 1篇强激光与粒子...
  • 1篇真空
  • 1篇真空电子技术
  • 1篇LSI制造与...

年份

  • 1篇2003
  • 1篇2000
  • 7篇1998
  • 3篇1997
  • 1篇1996
共 13 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
单间隔加速透镜强流离子传输的光学特性被引量：1
2000年
利用束流传输原理 ,采用包含空间电荷效应的传输矩阵 ,讨论了强流离子束在静电加速场中传输包络的计算 ,并对不同能量、不同束流的强流氧离子束在单间隙双园筒加速管中的传输束包络进行了模拟 。
刘晓芝陈林
关键词：强流离子束加速管光学特性离子注入机
束流纹波对全机械扫描离子注入机重复性的影响被引量：1
1998年
分析了束流纹波系数对全机械扫描强流离子注入机重复性的影响，并进行了定量的计算。计算结果表明，要使注入重复性达到小于或等于１％，束流纹波必须稳定在１０％以内。该结果已在ＬＣ－１１型强流离子注入机中得到了验证。
陈林
关键词：离子注入机半导体器件
LC-11型强流离子注入机晶片电荷积累效应分析被引量：3
1998年
通过讨论强流离子注入过程中晶片电荷积累所引起的一系列问题，分析了ＬＣ－１１型强流离子注入机防晶片电荷积累的有效性。
陈林
关键词：强流离子注入机ULSI
强流离子注入机加速管的聚焦特性研究
2003年
　讨论了三间隙强流离子加速管的聚焦特性,计算了各种能量下离子束聚焦情况,并分析了抑制空间电荷效应所需要的电场强度。最后总结了三间隙加速管设计和调试应注意的问题。
刘晓芝孙利平王应德陈林
关键词：强流离子束加速管空间电荷效应
强流离子注入机晶片电荷积累及控制
1997年
分析了离子注入机中晶片电荷积累的物理机理，介绍了强流离子注入机中控制晶片电荷积累的方法，并讨论了强流离子注入机设计应注意的问题。
陈林
关键词：强流离子注入机晶片离子注入
基于距离图象的机器人视觉初步研究被引量：1
1998年
介绍如何直接利用三维视觉传感器实时采集的距离图象数据，有效地检测目标的三维空间位置。
刘晓芝陈林
关键词：距离图象机器人
三维图像处理及应用研究
1998年
本文描述视觉传感器的三维图像处理方法及结果,简述了其应用前景.
陈林刘晓芝
关键词：三维图像图像处理视觉传感器传感器
大束流离子注入机能量污染的研究被引量：2
1998年
能够精确控制离子注入的能量从而控制掺杂的深度是离子注入机的重要特征。本文讨论了大束流离子注入机能量污染，产生的原因及降低能量污染的方法。
陈林刘晓芝
关键词：离子注入机半导体器件
全机械扫描强流离子注入机重复性研究被引量：3
1997年
对影响全机械扫描强流离子注入机剂量重复性的因素进行了分析。对束流纹波的影响建立了数学模型，计算了束流纹波对剂量重复性的影响。结果表明只要束流纹波在9％以内，剂量重复性可控制在1％以下。
陈林杨建生颜享迪
关键词：强流离子注入机
等离子体——大束流注入下晶片的保护神被引量：1
1998年
分析了等离子体控制晶片表面电荷积累的机理和特性，介绍了国外大束流离子注入机在控制晶片电荷积累方面的进展。
陈林
关键词：等离子体
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